Services et infrastructures

L’un des objectifs du ReSMiQ vise à surmonter les barrières institutionnelles pour réduire la multiplication des ressources aux niveaux de l’enseignement et des infrastructures de recherche. Ceci dans le but d’augmenter les collaborations entre les chercheurs et à bénéficier de leurs différentes infrastructures respectives. Ajoutons que la collaboration de nos membres par le partage des services et infrastructures communes est bénéfique à la mise en œuvre de microsystèmes et l’innovation au Québec et au Canada.

Soulignons que certains de nos membres ont réussi à acquérir plusieurs infrastructures d’envergure grâce au soutien de la fondation canadienne pour l’innovation et du gouvernement du Québec ainsi que l’appui tangible de partenaires industrielles. Notre centre supporte partiellement l’accès de tous ses membres à toutes les infrastructures supportées par leurs collègues. Ceci fait en sorte que nos équipements sont utilisés à leur plein potentiel. Ces services ont aussi un impact sur la formation des étudiants qui ont alors accès à des équipements d’avant-garde.

LASEM - Laboratoire d'assemblage et d'encapsulation de microsystèmes électroniques
École Polytechnique de Montréal
http://www.polymtl.ca/lasem/

Ce laboratoire de micro technologie électronique offre aux chercheurs, aux étudiants à la recherche et à l’industrie une expertise et des équipements hautement spécialisés pour la réalisation et l’analyse de microsystèmes dédiés à diverses applications. Cette plate-forme comprend des équipements hautement spécialisés pour l’assemblage de puces électroniques et de circuits hybrides variés. Nos équipements permettent le placement et l'insertion de puces, leurs assemblages et leurs interconnexions. Parmi les usagers de cette infrastructure on retrouve plusieurs membres du ReSMiQ ainsi que des clients de l’industrie.

Le parc d’équipement comprend des appareils et dispositifs dédiés à :

La connexion et encapsulation de puces microélectroniques
L’assemblage de composantes électroniques sur circuits imprimés
La microscopie électronique à balayage et microanalyses à rayon X
La soudure laser Nd:YAG
La réparation de cartes électroniques
Les tests et mesures

Laboratoire d’interconnections et d’interfaçage du CoFaMic
Université du Québec à Montréal (UQAM)
http://www.cofamic.uqam.ca

Le laboratoire possède plusieurs équipements de fabrication et de mesure pour les micro-nano systèmes. Ces équipements ont été sélectionnés pour combler des besoins de caractérisation et de fabrication d’interconnections et d’interfaçage entre les systèmes à diverses échelles allant du « nano » au « macro » en passant par le « micro ». Ainsi, le laboratoire possède les équipements permettant de faire de la lithographie par écriture directe allant jusqu’à des échelles nanométriques par la technique de nano-mouillage (Dip Pen Nanolithography) ainsi que des systèmes uniques pour l’écriture directe de composantes électroniques (Printed electronics). Il possède aussi toutes les infrastructures nécessaires pour fabriques des dispositifs microfluidiques par lithographie de résine épaisse de type SU8 et moulage avec du PDMS. Finalement, il possède les équipements pour fabriquer les différents circuits imprimés et structures tridimensionnelles nécessaire dans l’assemblage des microsystèmes. Diverses équipements de caractérisation permettant d’aller jusqu’à des fréquences de 50 GHz sont aussi disponible. Ces infrastructures sont ainsi complémentaires à celle du Laboratoire d'Assemblage et d'Encapsulation de Microsystèmes Électroniques (LASEM) du ReSMiQ situées à l’École Polytechnique. Les diverses infrastructures du CoFaMic à l’UQAM sont accessibles à tous les membres du ReSMiQ.

1. Équipement de micro-nano fabrication
Le CoFaMic possède une salle blanche de classe 1000 ou sont regroupés divers équipements permettant de faire le lien entre les échelles nano et macro. Les équipements suivant sont présentement disponibles:

Aligneuse KS MJB3 permettant une résolution de 1 micron sur des substrats de 2 pouces de diamètre.
Aligneuse OAI 200 permettant une résolution de 1 micron sur des substrats de 4 pouces de diamètre.
Tournette Laurell
Imprimante de matériaux DMP-2831
Système de lithographie par nanomouillage Nanoscript de Nanoink
Évaporateur Alcatel
Microscope Nikon

Les équipements suivant seront installés au cours de la prochaine année:

Système d’écriture directe par jet aerosol M3D 300 P de Optomec.
Évaporateur pour métaux et matériaux organiques.
Système de gravure plasma RIE Sirus T2 de Trion Technology.

2. Équipement de fabrication de circuits imprimé
Le CoFaMic possède tous les équipements nécessaires aux différentes étapes de la fabrication de circuits imprimés : création du masque, transfert du masque, développement du masque, gravure du cuivre, ajout des trous d’interconnexions (via hole) et découpe du circuit. Les équipements suivant sont disponible au centre de recherche:

Laminateur de film (modèle RLM 419 P de Bungard)
Système d’exposition sous-vide double-coté (modèle Hellas de Bungard)
Système de gravure du cuivre (modèle Jet 34D de Bungard)
Perceuse de précision (modèle Variodrill de Bungard)
Système d’insertion mécanique de rivet
Système de coupe de circuits imprimés
Photoplotter

Le centre disposera également sous peu d’un système de micro-usinage pour circuit imprimé. Ce système permet également un micro-usinage tridimensionnel de plusieurs types de matériaux.

3. Banc de mesures et de caractérisation entre 10Mhz et 50
Les équipements de mesure couvrant la bande de fréquence comprise entre 10Mhz et 50 GHz seront acheté au cours de l’été. Ce banc de mesure comprend :

Analyseur de réseau
Analyseur de spectre
Station sous pointe
Puissance mètre

L’analyseur de réseau est muni de l’option « Time domain » . Cet option permet d’effectuer plusieurs mesures, dont la caractérisation des interconnections. Les options de bruit de phase et de figure de bruit sont aussi disponibles sur l’analyseur de spectre.
4. Banc de caractérisation électro-optique
Les équipements de mesure pouvant mesurer les propriétés électriques, l’électroluminescence ou la photo génération de charges :

Spectroradiomètre Photo Research PR 705
Système de mesure de resistivité quatre pointes
Simulateur solaire
Monochromateur couplé à banc de tests électriques

LACIME – Laboratoire de communication et d’intégration de la microélectronique
École de technologie supérieure (ETS)
http://www.lacime.etsmtl.ca/

Des dispositifs et circuits les plus petits aux systèmes de communication et de navigation terrestres et satellitaires les plus complexes, le LACIME couvre des domaines de recherche stimulants et diversifiés. Il regroupe des chercheurs de renommée internationale secondés par une équipe d'étudiants, de stagiaires et de professionnels qui utilisent et exploitent des outils à la fine pointe de la technologie pour mener des travaux de recherche innovateurs et hautement appliqués dans ces domaines. La synergie entre ses membres de même que la diversité et la complémentarité de leurs expertises font du LACIME un laboratoire unique et un partenaire privilégié des industriels. Grâce à ses particularités, le LACIME offre un environnement dynamique où les connaissances transdisciplinaires des membres servent à développer de nouvelles approches systémiques innovantes et performantes. C'est ainsi que le LACIME offre un environnement des plus stimulant pour ses étudiants et chercheurs, contribuant ainsi à la formation d'une nouvelle génération d'ingénieurs habiles dans des domaines analogiques, numériques et mixtes qui répond aux besoins de l'industrie.

Liste complète des équipements